近日三星电子与ASML宣布扩大战略合作,共同推进高数值孔径极紫外光刻(High NA EUV)技术落地。为适配High NA EUV技术的规模化应用,三星正式加入行业联合倡议,全力推进下一代12英寸光掩模技术的研发与普及,告别沿用数十年的6英寸光掩模。依托High NA EUV的高分辨率特性,12英寸光掩模方案能够提升晶圆厂生产效率、降低DRAM制造成本,解决传统光刻的图案拼接限制,这一技术升级,将让先进DRAM芯片的制程精度、性能稳定性、成本优势全面提升,为高端存储芯片的迭代量产筑牢技术根基。
根据规划,三星目标在2028年,率先将High NA EUV技术投入DRAM大规模生产,进一步拓展DRAM的制程缩放空间,简化制造流程,提升芯片制造效率,为高密度高端DRAM产品量产打下基础。
High NA EUV技术具备更高的光刻分辨率,能够有效突破当前DRAM芯片微型化的制程瓶颈,进一步拉长DRAM尺寸缩放技术路线图。在实际量产应用中,该技术可大幅简化芯片工艺流程、提升生产良率与产能效率,助力DRAM芯片实现更高集成度、更低功耗、更优性能,全面适配人工智能、高端消费电子、工业控制、服务器等领域的高端存储需求。
随着 High NA EUV 落地,新一代高密度DRAM存储芯片会量产上市。研尚科技作为存储元器件供应商,需要提前跟进这一产业趋势,提前布局下一代存储产品供应链,服务下游客户。这项制程变革将带动整个DRAM供应链升级,对存储芯片的性能、稳定性提出更高要求。研尚科技也将持续关注High NA EUV等新技术带来的DRAM产品迭代趋势,围绕官网主营的DRAM相关存储产品做好供应链储备,紧跟行业技术方向,为客户提供稳定可靠的存储元器件配套支持,后续还会分享半导体存储行业前沿资讯,助力客户把握产业发展趋势。